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什么是机床激光检测装置?

激光是一种单色光,其波长短、稳定好,相干性强,有很好的方向性等特点。广泛用
于长距离、高精度的位置检测。激光测距利用光的干涉原理,使两束激光产生明暗相间的干涉条纹,由光电元件接受并转换成电信号,经处理后由计数器计数,从而实现对位移的测量。激光测量的分辨率高,如果利用倍频等电子技术还能获得更高的分辨率。常用的激光测距法有单频激光干涉法与双频激光干涉法。激光干涉仪的计量精度和分辨率都很高,对使用环境的要求高,价格也较贵,目前多用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机床位置检测装置以及定位系统,因此经常使用双频激光干涉仪作为精密机床的测量装置。本节重点介绍双频激光干涉仪的工作原理。双频激光干涉仪由激光器、检偏器、光学干涉部分、光电接收元件、计算机等组成,如图3-36所示。将激光器放置于轴向磁场中,发出的激光为方向相反的右旋圆偏振光和左旋圆偏振光,得到两种频率f1f2的双频激光。经分光镜Ml,一部分反射光经检偏器射入光电元件D1,取得频率为f=f1-f2的光电流;另一部分通过分光镜Ml的折射到达分光镜M2的a处。频率为f2的光束完全反射经滤光器变为线偏振光f2,投射到固定棱角镜M4后并反射到分光镜M2的b处。频率为f1的光束折射经滤光器变为线偏振光f1,投射到可动棱镜M3后也反射到分光镜M2的b处,两者产生相干光束。若

频率f=f1±Δf的反射光与频率为f2的反射光在b处汇合后,经检偏器投入光电元件D2,得到测量频率f测=f2-(f1±Δf)的光电流。这路光电流与经光电元件D1后得到频差为基的光电流,同时经放大器放大进入计算机,经减法器和计数器,即可算出差值±Δf。并按下式计算出可动棱镜M4的移动速度υ和移动距离L
 

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